雙頻激光干涉儀的優(yōu)越性
1. 精度高:雙頻激光干涉儀以波長作為標準對被測長度進行度量的儀器。即使不做細分也可達到μm 量級,細分后更可達到nm量級。
2. 應用范圍廣:雙頻激光干涉儀除了可用于長度的精密測量外,配上適當?shù)母郊可測量角度、直線度、平面度、振動距離及速度等等。
3. 環(huán)境適應力強:即使光強衰減 90%,仍然可以得到有效的干涉信號。由于這一特點,雙頻激光干涉儀既可在恒溫、恒濕、防震的計量室內(nèi)檢定量塊、量桿、刻尺、微分校準器和坐標測量機,也可以在普通的車間內(nèi)為大型的機床的刻度進行標定。
4. 實時動態(tài)測量,測速高:現(xiàn)代的雙頻激光干涉儀測速普遍達到1 m/s,有的甚至于十幾m/s,適于高速動態(tài)測量。